客户需求:
化学机械抛光(CMP)是半导体集成电路制造过程中实现晶圆表面平坦化的关键工艺,需要在此过程中实时精准检测点胶温度以及晶圆表面的热均匀性。
解决方案:
红加科技提供的紧凑型测温仪和热像仪,非常适合集成于CMP设备系统模组,实时输出反馈信号到系统主机进行联动操作。